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水路背板是一種安裝在濺射靶材背面的冷卻與支撐部件，內部設有精密水道結構。它通過循環冷卻水及時帶走靶材在濺射過程產生的熱量，保持靶材與設備的溫度穩定，防止熱變形或開裂，從而延長靶材壽命并提高薄膜沉積過程的穩定性和一致性。

在高功率磁控濺射、連續大面積鍍膜或長時間工作條件下，水路背板是不可或缺的配套組件。常用材料為高導熱銅或鋁合金，既能保證良好的導熱性，又具備一定的機械強度和抗腐蝕性。

水路背板的優異特性

• 眾誠達靶材公司擁有自主核心優勢的旋轉靶材幫定技術，此技術不僅銦用量少，而且靶材的幫定強度高，導電與導熱性能更好，解決靶材使用過程中出現的脫靶與裂靶問題。 

• 使用這種幫定技術生產的靶材，能夠滿足大功率濺射的要求，我司的AZO旋轉靶材承諾濺射功率>15KW/M

• 先進的幫定技術能有效降低銦的使用量，使靶材降低成本變為可能。 

• 為客戶設計生產水路銅背板并提供幫定服務。