產品介紹
靶材綁定膠是一種專門用于將濺射靶材牢固粘接在背板上的特種膠粘劑，它在物理氣相沉積（PVD）等工藝中扮演著關鍵角色。
核心優勢
● 工藝友好
通常在中低溫下即可固化，避免了高溫對靶材性能的潛在損害，操作也相對簡便
● 應力緩沖
具備一定的柔韌性，能夠有效緩解靶材與背板之間因熱膨脹系數差異產生的應力
● 綜合性能穩定
具有良好的化學穩定性和機械穩定性，與多種基材（鋁、銅、不銹鋼、玻璃）附著力強，且環保無毒
應用領域
● 陶瓷及脆性靶材綁定
特別適用于ITO（氧化銦錫）、SiO?等陶瓷靶材的綁定，這些靶材質脆，需要綁定以提供支撐和散熱
● 熱敏感或特殊靶材
適用于無法承受高溫綁定的靶材（如部分氧化物靶材）、有機靶材或臨時綁定場景
技術特性
可定制化開發
應用場景
靶材綁定
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