產品介紹
銅鎳靶材是由高純度銅和鎳在真空或保護氣氛下經過精密熔煉、軋制、機加工等工序制備而成的合金靶材。通過嚴格控制合金比例、雜質含量和顯微組織,既保留了銅優異的導電導熱性能,又融入了鎳的高強度和耐腐蝕特性,成為多行業常用的功能性靶材。
銅鎳靶材核心優勢
優異導電導熱性能
高純度銅賦予靶材低電阻率和高導熱率,沉積出的薄膜在高頻、高功率條件下依然具有穩定的導電性和散熱能力,非常適合功率器件及大面積基板。
耐腐蝕與耐磨性強
鎳元素提高了靶材和膜層的抗腐蝕、抗氧化和耐濕熱性能,形成致密鈍化層,有效延長膜層及器件的使用壽命。
膜層致密、附著力高
濺射出的薄膜表面光滑、顆粒細小、厚度均勻,附著力好,有助于提升成品良率和穩定性。
優良的機械性能
通常具有較高的硬度和強度,在濺射過程中能夠保持靶材的穩定性和耐用性,減少因濺射產生的變形和損壞,保證濺射過程的順利進行。
銅鎳靶材的主要應用領域
半導體制造
銅鎳合金靶材常用于芯片制造過程中互連線、接觸電極等關鍵金屬層的沉積。通過磁控濺射或PVD工藝在晶圓表面形成致密、導電性優異的薄膜,實現電路之間高效、穩定的電連接,滿足先進制程的可靠性和性能需求。顯示器行業
在液晶(LCD)和OLED等平板顯示生產中,銅鎳靶材是電極及薄膜晶體管金屬層的重要材料。其均勻的沉積特性有助于獲得低電阻、高附著力的薄膜,提升顯示面板的響應速度、亮度均勻性和整體畫質。
光伏行業
銅鎳靶材可作為晶硅或薄膜太陽能電池的電極或阻擋層材料。通過濺射形成的金屬層具有良好的導電和耐蝕性能,可顯著提高電池的光電轉換效率、穩定性和使用壽命。
光學器件制造
在光學元件制造中,銅鎳靶材可用于鏡片、濾光片等鍍膜,膜層光學特性易于調控。通過精準控制膜厚與工藝參數,可實現特定波段的反射、透射或吸收,滿足望遠鏡、顯微鏡、光通信等高端光學應用的要求。
技術特性

純度
99.9%-99.99%

配比
可定制比例
應用場景
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