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氮化鈦靶材(TiN)

TiN target

眾誠達(dá)

陶瓷靶材

氮化鈦靶材(TiN)

高密度
優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性
良好的電學(xué)性能

產(chǎn)品介紹

氮化鈦靶材(TiN)是當(dāng)前全球應(yīng)用廣泛的金屬陶瓷功能靶材之一,兼具金屬的導(dǎo)電導(dǎo)熱性與陶瓷的高硬度、抗腐蝕特性,通過磁控濺射等工藝氮化鈦靶材可制備性能均衡的功能薄膜。氮化鈦靶材的核心優(yōu)勢是能滿足機(jī)械制造的耐磨防護(hù)需求,也能適配電子半導(dǎo)體的高精度功能要求,還可實(shí)現(xiàn)裝飾與防護(hù)一體化功能。氮化鈦靶材廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、裝飾、航空航天、新能源等多個(gè)高端制造領(lǐng)域,是跨行業(yè)通用的核心功能材料。

氮化鈦(TiN)的優(yōu)異特性

  • 致密性突出

    氮化鈦靶材相對(duì)密度≥98%,晶粒尺寸 3-10 μm 均勻分布,減少濺射時(shí)弧光放電,提升薄膜成分均勻性,彰顯氮化鈦靶材的核心品質(zhì)優(yōu)勢。


  • 高沉積速率、膜層無發(fā)蒙

    氮化鈦靶材實(shí)現(xiàn)高沉積速率優(yōu)化,效率最大化落地,膜層無發(fā)蒙優(yōu)化,外觀與致密性雙保障,適配批量工業(yè)化生產(chǎn)需求。

  • 超硬耐磨

    氮化鈦靶材硬度層級(jí)豐富,靶材硬度≥1800 HV,耐磨性是普通金屬薄膜的 4-8 倍,同時(shí)兼具一定韌性,避免薄膜脆裂,充分發(fā)揮氮化鈦靶材的防護(hù)價(jià)值。

  • 低電阻率

    氮化鈦靶材室溫電阻率≤150 μΩ?cm,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)陶瓷靶材,適配半導(dǎo)體柵極、散熱涂層等導(dǎo)電 / 導(dǎo)熱場景,體現(xiàn)氮化鈦靶材的電學(xué)優(yōu)勢。

  • 色澤可調(diào)控

    氮化鈦靶材天然呈現(xiàn)金黃色,通過工藝優(yōu)化可實(shí)現(xiàn)黑色、灰色等多色澤,滿足高端裝飾需求,拓展了氮化鈦靶材的應(yīng)用場景。

氮化鈦(TiN)的廣泛應(yīng)用

  • 硬質(zhì)涂層

    氮化鈦靶材用于硬質(zhì)涂層,色澤均勻(經(jīng)典金黃色)、無霧感無顆粒,長期使用不褪色劃傷;符合 RoHS 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),量產(chǎn)效率提升 30% 以上,適配機(jī)械制造等領(lǐng)域的耐磨防護(hù)需求。

  • 半導(dǎo)體制造

    氮化鈦靶材適配半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,保障電子器件信號(hào)傳輸穩(wěn)定、延長使用壽命;適配 7nm 以下先進(jìn)制程,半導(dǎo)體良率≥98%,消費(fèi)電子量產(chǎn)效率提升 25%,貼合電子半導(dǎo)體的高精度要求。

  • 光學(xué)領(lǐng)域

    氮化鈦靶材應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域,保障光學(xué)器件成像清晰、透光高效;顆粒缺陷極少,鏡頭良率顯著提升,單日可處理數(shù)千片光學(xué)元件,凸顯氮化鈦靶材的光學(xué)適配性。


技術(shù)特性

  • 純度

    純度

    99.9%

  • 致密度

    致密度

    ≥98%

應(yīng)用場景

  • 硬質(zhì)涂層

    硬質(zhì)涂層

  • 半導(dǎo)體制造

    半導(dǎo)體制造

  • 光學(xué)領(lǐng)域

    光學(xué)領(lǐng)域

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