產(chǎn)品介紹
氮化鈦(TiN)的優(yōu)異特性
致密性突出
氮化鈦靶材相對(duì)密度≥98%,晶粒尺寸 3-10 μm 均勻分布,減少濺射時(shí)弧光放電,提升薄膜成分均勻性,彰顯氮化鈦靶材的核心品質(zhì)優(yōu)勢。
高沉積速率、膜層無發(fā)蒙
氮化鈦靶材實(shí)現(xiàn)高沉積速率優(yōu)化,效率最大化落地,膜層無發(fā)蒙優(yōu)化,外觀與致密性雙保障,適配批量工業(yè)化生產(chǎn)需求。
超硬耐磨
氮化鈦靶材硬度層級(jí)豐富,靶材硬度≥1800 HV,耐磨性是普通金屬薄膜的 4-8 倍,同時(shí)兼具一定韌性,避免薄膜脆裂,充分發(fā)揮氮化鈦靶材的防護(hù)價(jià)值。
低電阻率
氮化鈦靶材室溫電阻率≤150 μΩ?cm,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)陶瓷靶材,適配半導(dǎo)體柵極、散熱涂層等導(dǎo)電 / 導(dǎo)熱場景,體現(xiàn)氮化鈦靶材的電學(xué)優(yōu)勢。
色澤可調(diào)控
氮化鈦靶材天然呈現(xiàn)金黃色,通過工藝優(yōu)化可實(shí)現(xiàn)黑色、灰色等多色澤,滿足高端裝飾需求,拓展了氮化鈦靶材的應(yīng)用場景。
氮化鈦(TiN)的廣泛應(yīng)用
硬質(zhì)涂層
氮化鈦靶材用于硬質(zhì)涂層,色澤均勻(經(jīng)典金黃色)、無霧感無顆粒,長期使用不褪色劃傷;符合 RoHS 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),量產(chǎn)效率提升 30% 以上,適配機(jī)械制造等領(lǐng)域的耐磨防護(hù)需求。
半導(dǎo)體制造
氮化鈦靶材適配半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,保障電子器件信號(hào)傳輸穩(wěn)定、延長使用壽命;適配 7nm 以下先進(jìn)制程,半導(dǎo)體良率≥98%,消費(fèi)電子量產(chǎn)效率提升 25%,貼合電子半導(dǎo)體的高精度要求。
光學(xué)領(lǐng)域
氮化鈦靶材應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域,保障光學(xué)器件成像清晰、透光高效;顆粒缺陷極少,鏡頭良率顯著提升,單日可處理數(shù)千片光學(xué)元件,凸顯氮化鈦靶材的光學(xué)適配性。
技術(shù)特性

純度
99.9%

致密度
≥98%
應(yīng)用場景
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