產(chǎn)品介紹
氧化鋁靶材(Al?O?)的優(yōu)異特性
高致密
通過(guò)熱壓設(shè)備技術(shù)改造，眾誠(chéng)達(dá)對(duì)高致密氧化鋁靶材的成型工藝進(jìn)行深度優(yōu)化，致密度提升至 90–95%，比行業(yè)平均水平減少 30% 濺射顆粒脫落，顯著增強(qiáng)氧化鋁靶材強(qiáng)度與穩(wěn)定性。
高純度
選用特制原料粉末，雜質(zhì)極低，純度≥99.99%，遠(yuǎn)超行業(yè)常規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，避免雜質(zhì)干擾薄膜性能，滿足高端制造嚴(yán)苛需求，彰顯眾誠(chéng)達(dá)氧化鋁靶材的品質(zhì)優(yōu)勢(shì)。
高均勻
反復(fù)校準(zhǔn)燒結(jié)參數(shù)，保證溫控均勻，確保氧化鋁靶材不同區(qū)域?yàn)R射速率均衡，提升終端產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定性，進(jìn)一步凸顯氧化鋁靶材的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。
氧化鋁靶材(Al?O?)的廣泛應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
半導(dǎo)體用氧化鋁靶材適配集成電路、CMOS 工藝，精準(zhǔn)匹配離子注入掩膜需求，提升器件耐壓性能與介電強(qiáng)度，符合 12 英寸晶圓鍍膜標(biāo)準(zhǔn)，兼容臺(tái)積電 / 中芯國(guó)際主流工藝，廣泛應(yīng)用于晶圓級(jí)封裝及薄膜電容器，氧化鋁靶材成為半導(dǎo)體高端制造的核心耗材。
光學(xué)器件制造
光學(xué)器件用氧化鋁靶材可制備 AR 膜、紅外濾光片、增透膜及光學(xué)保護(hù)膜，依托氧化鋁靶材高硬度與抗腐蝕性，有效增強(qiáng)光學(xué)元件耐磨性與抗腐蝕能力，保障光學(xué)系統(tǒng)在復(fù)雜環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。
3.新能源領(lǐng)域
光伏氧化鋁靶材沉積的 Al?O?薄膜，可作為晶體硅光伏電池鈍化層，助力轉(zhuǎn)換效率提升；在鋰離子電池中作為包覆層，在鈣鈦礦光伏電池中作為電子傳輸層 / 阻隔層，全面改 善器件效率與穩(wěn)定性，拓展了氧化鋁靶材的應(yīng)用場(chǎng)景。
4.顯示面板
顯示面板用氧化鋁靶材制備的薄膜硬度高、附著力強(qiáng)，可制作顯示屏防刮涂層、精密儀器防護(hù)膜、工業(yè)模具硬化層，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，降低后期維護(hù)成本，氧化鋁靶材成為 顯示面板產(chǎn)業(yè)的優(yōu)選耗材。
技術(shù)特性
純度
99.99%
相對(duì)密度
3.5 g/cm³
應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
光學(xué)器件制造
新能源領(lǐng)域
顯示面板
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