眾誠達攜前沿技術亮相第十七屆全國薄膜技術學術研討會，共探薄膜產業創新未來
2025.11.21
2025年11月14日至16日，第十七屆全國薄膜技術學術研討會暨中國真空學會薄膜專業委員會成立四十周年慶典在深圳南山隆重舉行。在這次學術研討會的行業盛會中，深耕薄膜濺射靶材領域 15 年的深圳眾誠達應用材料股份有限公司（以下簡稱 “眾誠達”）攜多項核心技術成果重磅亮相，以自主創新之力破解行業痛點，為薄膜材料國產化進程注入強勁動能。
此次參會，眾誠達懷揣雙重愿景：一方面向行業同仁全面展示企業在關鍵靶材國產化領域的最新突破，彰顯中國智造的硬核實力；另一方面搭建產業鏈上下游與科研機構的深度交流橋梁，凝聚行業共識，共同推動薄膜材料技術的創新迭代與應用落地，助力產業高質量發展。
會上，眾誠達在高端薄膜靶材的技術研發與產品創新領域交出亮眼答卷
（1）為打破RPD靶材的國外壟斷，解決國產靶材易噴濺、結構坍塌等問題，提出粉體晶粒度級配與高溫急冷技術，解決了孔結構調控難題，實現進口替代，并獲發明專利3項。該產品助力合作伙伴隆基綠能突破電池效率世界紀錄。
（2）為解決“高純稀土鋱旋轉靶材”制造難題，攻克了真空蒸
餾-等離子體提純技術，提出了旋轉靶材原位消泡澆鑄成型技術，靶材密度>99%、氧含量<500ppm，獲授權發明專利3項。
（3）為解決高Sc含量鋁鈧靶材“成分不均、氧含量超標”問
題，提出了金屬提純+晶粒控制技術，靶材均勻性<±0.2%、氧含量<50ppm，獲授權發明專利1項。
（4）為破解氧化錫靶材“致密化與高導電性兼容”難題，提出了多組分摻雜技術，突破靶材密度>99%同時電阻率<10mΩ·cm，并獲授權發明專利2項。
眾誠達持續攻堅，斬獲多項關鍵技術突破。公司近年來突破了5G濾波器和壓電器件用的AlSc、鋯鈦酸鉛靶材，永磁用的Tb、Dy、PrAlCu等稀土靶材，氧化銦基高遷移率TCO，氧化錫、氧化鎳載流子傳輸層，CuGa、CdTe吸光層等光伏電池靶材。標桿客戶有隆基、福耀、京東方、藍思科技等等，開發成果新增營收超3.5億元。
其中，RPD靶材成果被認定為“國際先進”水平，實現全面進口替代，讓日本住友等壟斷企業完全退出中國市場，并助力光伏客戶獲得多項最高轉換效率的世界記錄。
產學研協同創新是眾誠達技術突破的重要支撐。企業已與清華大學、深圳大學、上海交通大學等頂尖高校建立長期穩定的合作關系，通過共建實習與研發基地，加速核心技術成果轉化，實現 “產學研用” 深度融合。同時，眾誠達積極參與行業協會工作，主導或參與多項行業標準制定，主動與同行開展技術交流，以開放姿態推動產業整體水平提升。展望未來，企業將進一步深化產學研合作，聚焦三大核心方向：攻關第三代半導體靶材制備技術，為 5G 和新能源車領域提供關鍵材料支撐；突破芯片靶材核心技術，筑牢 AI 技術發展的底層材料保障；加大靶材回收與再利用技術研發，踐行資源循環利用理念，降低產業成本，推動綠色可持續發展。
